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DFA40D_2轴大气圆柱坐标单臂晶圆片盒搬运机器人

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DFA40D_2轴大气圆柱坐标单臂晶圆片盒搬运机器人

DFA40D_2轴大气圆柱坐标单臂晶圆片盒搬运机器人,自主研发安全可控,可全面替代进口品牌。

产品描述


2轴大气圆柱坐标单臂晶圆片盒搬运机器人
DFA40D_DFA系列半导体机器人
 
  • ●采用闭环伺服控制
  • ●可选配免电池绝对式编码器
  • ●可根据设备布局定制臂长

臂长

400mm

额定/最大负载

12kg

搬运物

4~12寸晶圆片盒

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关键词:

DFA系列半导体机器人

新时达众为兴DFA40D_2轴大气圆柱坐标单臂晶圆片盒搬运机器人

规格参数

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