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FA4230F_4轴大气水平多关节型单臂晶圆搬运机器人

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FA4230F_4轴大气水平多关节型单臂晶圆搬运机器人

FA4230F_4轴大气水平多关节型单臂晶圆搬运机器人，自主研发安全可控，可全面替代进口品牌。
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产品描述

单轴大气晶圆片盒搬运机器人
FA4230F_FA系列半导体机器人
 
  • ●采用闭环伺服控制
  • ●可根据设备布局定制臂长和Z轴行程
  • ●可选配免电池绝对式编码器
  • ●可选mapping传感器类型：对射式、反射式
  • ●可选末端执行器类型：真空吸附式、夹持式、翻转吸附式

臂长

420mm

额定/最大负载

4kg

搬运物

≤Φ300mm晶圆

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关键词：

FA4新时达众为兴230F_4轴大气水平多关节型单臂晶圆搬运机器人

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