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FBA6432D_5轴大气水平多关节型单臂双手指晶圆搬运机器人

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FBA6432D_5轴大气水平多关节型单臂双手指晶圆搬运机器人

FBA6432D_5轴大气水平多关节型单臂双手指晶圆搬运机器人，自主研发安全可控，可全面替代进口品牌。
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产品描述

5轴大气水平多关节型单臂双手指晶圆搬运机器人
FBA6432D_FBA系列半导体机器人
 
  • 采用闭环伺服控制
  • 可根据设备布局定制臂长和Z轴行程
  • 可选配免电池绝对式编码器
  • 可选末端执行器类型：真空吸附式、边缘夹持式

臂长

640mm

额定/最大负载

4kg

搬运物

≤Φ300mm晶圆

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新时达众为兴FBA6432D_5轴大气水平多关节型单臂双手指晶圆搬运机器人

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