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JC48B_3轴大气晶圆校准器

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JC48B_3轴大气晶圆校准器

JC48B_3轴大气晶圆校准器,自主研发安全可控,可全面替代进口品牌。

产品描述


3轴大气晶圆校准器
JC48B_JC系列半导体机器人
 
  • 采用闭环伺服控制
  • 晶圆固定方式:真空吸附

校准晶圆尺寸

Φ100-Φ200mm

校准精度

晶圆中心:±0.1mm
晶圆缺口:±0.1°

校准时间

3sec

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关键词:

规格参数


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