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SA25_4轴大气5片晶圆搬运机器人

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SA25_4轴大气5片晶圆搬运机器人

SA25_4轴大气5片晶圆搬运机器人,自主研发安全可控,可全面替代进口品牌。

产品描述


4轴大气5片晶圆搬运机器人
SA25_SA系列半导体机器人
 
  • ● 采用闭环伺服控制
  • ● 可选配免电池绝对式编码器
  • ● 可根据设备布局定制底座和伸展轴行程
  • ● 末端执⾏器类型:下托式

臂长

250mm

额定/最大负载

5晶圆

搬运物

Φ100~Φ300mm晶圆

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关键词:

规格参数


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