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基于丰富的产品，针对不同行业特性，深入场景，提供智能制造综合解决方案，助力企业智能化改造和数字化转型。 -
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集团成员
EN产品描述
4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机器人
AHYB4210F_AHY系列半导体机器人
- ● 高可靠真空隔离，从容应对高真空环境
- ● 电机直接驱动机器人运动，提升运行可靠性
- ● 高强度高刚性钢带传动，实现手臂高传动精度
- ● 采用闭环伺服控制，实现高精度位置控制
- ● 同时实现双工位交换晶圆动作（Swap）
臂长
426.8mm
额定/最大负载
≤1kg
搬运物
≤Φ300mm晶圆
关键词：
新时达众为兴AHYB4210F_4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机器人
规格参数
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