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AHYR2110F_4轴真空直驱双臂R型晶圆搬运机器人

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AHYR2110F_4轴真空直驱双臂R型晶圆搬运机器人

AHYR2110F_4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机器人，自主研发安全可控，可全面替代进口品牌。
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产品描述

4轴真空直驱双臂R型晶圆搬运机器人
AHYR2110F_AHY系列半导体机器人
 
  • ● 高可靠真空隔离，从容应对高真空环境
  • ● 电机直接驱动机器人运动，提升运行可靠性
  • ● 高强度高刚性钢带传动，实现手臂高传动精度
  • ● 采用闭环伺服控制，实现高精度位置控制

臂长

213.4mm

  额定/最大负载

 ≤1kg

搬运物

≤Φ300mm晶圆

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新时达众为兴AHYR4210F_4轴真空直驱双臂R型晶圆搬运机器人

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