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基于丰富的产品，针对不同行业特性，深入场景，提供智能制造综合解决方案，助力企业智能化改造和数字化转型。 -
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集团成员
EN产品描述
5轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人
TBA4894D_TBA系列半导体机器人
- ● 采用闭环伺服控制
- ● 可根据设备布局定制臂长及Z轴行程
- ● 可选配免电池绝对式编码器
- ● 可选mapping传感器类型：对射式、反射式
- ●可选末端执行器类型：真空吸附式、夹持式、翻转吸附式
臂长
200/260/320/400mm
额定/最大负载
3kg
搬运物
≤Φ300mm晶圆
关键词：
新时达众为兴TBA4030F-07-09_4轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人
规格参数
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