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TA4030F-01-03_3轴大气圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人

产品描述
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TA4030F-01-03_3轴大气圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人

TA4030F-01-03_3轴大气圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人，自主研发安全可控，可全面替代进口品牌。
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产品描述

3轴大气圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人
TA4030F-01-03_TA系列半导体机器人
 
  • ● 采用闭环伺服控制
  • ● 可选配免电池绝对式编码器
  • ● 可根据设备布局定制底座和伸展轴行程
  • ● 末端执⾏器类型：下托式

臂长

200/260/320/400mm

  额定/最大负载

 3kg

搬运物

≤Φ300mm晶圆

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新时达众为兴TA4030F-01-03_3轴大气圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人

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