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VA5204_3轴真空圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人

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VA5204_3轴真空圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人

TBA4030F-07-09_4轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人，自主研发安全可控，可全面替代进口品牌。
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产品描述

3轴真空圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人
VA5204_VA系列半导体机器人
 
  • ● 可根据设备布局定制臂长及Z轴行程
  • ● 采用闭环伺服控制
  • ● 末端执行器类型：下托式
  • ● 可选配免电池绝对式编码器

  •  

臂长

520mm

  额定/最大负载

 2kg

搬运物

≤Φ300mm晶圆

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新时达众为兴VA5204_3轴真空圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人

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